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仪器详情
标定激光干涉仪
仪器编号
2016017789
规格
生产厂家
德国SIOS公司
型号
SP 15000C5
制造国家
中国
分类号
放置地点
卫津路校区第五教学楼精仪学院微纳测试与制造研究所5-1155-115
出厂日期
1970-01-01
购置日期
1970-01-01
入网日期
2021-06-05
主要规格及技术指标
测量范围：15米；测量分辨力：优于0.1nm；测角范围：正负5度；角度分辨力：优于0.01角秒；直线度测量范围：正负4mm；直线度测量分辨力：10nm；
主要功能及特色
高精度位移、角度和直线度测量
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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