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仪器详情
电子束蒸发设备
仪器编号
2016017860
规格
生产厂家
Kurt Lesker
型号
LAB-LINE
制造国家
美国
分类号
放置地点
卫津路校区第26教学楼天津大学太赫兹研究中心韩家广26-C-60526C-605
出厂日期
1970-01-01
购置日期
1970-01-01
入网日期
2021-06-05
主要规格及技术指标
1.1镀膜工艺腔体1.2 真空泵系统1.3 真空测量系统1.4 系统框架1.5 电子枪1.6 样品台1.7 膜厚控制系统？1.8 计算机控制系统 1.9 水冷系统1.10 电源要求
主要功能及特色
利用电子束蒸镀方式生长金属和氧化物薄膜
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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