.png){kind=icon}
仪器列表
仪器设备 >
理学院 >
仪器详情
光刻机
仪器编号
2017015927
规格
生产厂家
德国Karlsuss
型号
MA6
制造国家
中国
分类号
放置地点
卫津路校区第三教学楼天津市分子光电科学重点实验室3-107第三教学楼
出厂日期
1970-01-01
购置日期
1970-01-01
入网日期
2021-06-05
主要规格及技术指标
（1）★ 具有稳定可靠的芯片厚度补偿系统，可对芯片进行自调平和真空吸附。（2）由计算机进行工艺参数设定，具有专用控制软件。软件具有工艺参数设置、设备控制、硬件自我故障诊断与检测功能，操作方便快捷。
主要功能及特色
制备有机半导体薄膜和实现对低维或薄膜半导体器件原位改性
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
版权所有 © 天津大学 访问量: 5178866 系统开发商: 天津市基理科技股份有限公司