激光束数量:4个激光束直径:3 mm测量范围:0-4 m直线度测量精度:+- 0.5ppm直线度测量分辨率:1nm垂直度测量精度:+- 0.5um垂直度测量分辨率:0.25um
测试机床空间运动精度补偿空间误差
无