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仪器详情
薄膜PZT沉积设备
仪器编号
2019015619
规格
生产厂家
APPLIED MATERIALS
型号
P5000
制造国家
中国
分类号
放置地点
卫津路校区第一阶梯教室(东)精仪学院MEMS实验室东阶梯东阶梯实验室
出厂日期
1970-01-01
购置日期
1970-01-01
入网日期
2021-06-05
主要规格及技术指标
片内均匀性：＜3% U%=Range/(2*Mean), By Point. 片间均匀性：＜1.5% U%=Range/(2*Mean), By Point. 选择比：＞10
主要功能及特色
微机电器件制备与研究
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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