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原子层沉积系统
仪器编号
2019016104
规格
生产厂家
嘉兴科民电子设备技术有限公司
型号
PEALD-200A
制造国家
中国
分类号
放置地点
卫津路校区第十四教学楼天津大学—NIMS联合研究中心14-24414教学楼118
出厂日期
1970-01-01
购置日期
1970-01-01
入网日期
2021-06-05
主要规格及技术指标
1. 反应腔体须带至少4个完全独立的前躯体入口，材料为AISI 316不锈钢。2. 配备4条完全独立的源管线与相应入口对应。3. 设备为双腔体结构，反应腔体独立安装在真空腔体内, 各自配置密封盖，真空
主要功能及特色
原子层沉积系统是制备高性能致密薄膜的重要手段，具有良好的台阶覆盖率和精确的膜厚控制能力，主要用于燃料电池催化剂，氮化物，氧化物薄膜等沉积。
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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