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超高速大范围低相关性白光干涉仪
超高速大范围低相关性白光干涉仪
仪器编号
2020005811
规格
生产厂家
Heliotis
型号
Heliprofiler P4-400
制造国家
瑞士
分类号
放置地点
卫津路校区第五教学楼精仪学院微纳制造实验室5-108精仪学院维纳制定
出厂日期
1970-01-01
购置日期
1970-01-01
入网日期
2021-06-05

主要规格及技术指标

视场:0.6×0.6mm;垂直分辨率:200nm;水平分辨率:2um;工作距离:2.8mm

主要功能及特色

该设备用于曲面面形,粗糙度的测量和评价

主要附件及配置

公告名称 公告内容 发布日期