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仪器详情
三维光学轮廓仪
仪器编号
2020006335
规格
生产厂家
zygo公司
型号
ZeGage Plus
制造国家
美国
分类号
放置地点
北洋园校区第36教学楼机械学院力学系219
出厂日期
1970-01-01
购置日期
1970-01-01
入网日期
2021-06-05
主要规格及技术指标
* 1) 纵向扫描范围≥20mm，（单次扫描取样，不接受多次纵向拼接扫描。）* 2) 测试原理:具备非接触相干扫描干涉CSI采样方式，无须切换扫描模式，可在不小于300um的扫描范围内，单次扫
主要功能及特色
测量表面形貌
主要附件及配置
无
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