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仪器详情
椭偏仪
仪器编号
2019010079
规格
ESM-300
生产厂家
J. Woollam
型号
RC2-XI
制造国家
美国
分类号
03040606
放置地点
卫津路校区综合实验楼104104
出厂日期
2019-01-01
购置日期
2019-01-01
入网日期
2021-03-11
主要规格及技术指标
光谱范围210-1690nm，1067个波长点；准确性：Psi=45°±0.075°，Delta=0°±0.05°；2nm的自然氧化层（硅片）30次测量的SiO2厚度标准偏差为0.002nm
主要功能及特色
采用双旋转补偿器，高精度快速测量
采用消色散的补偿器，性能更优化
先进的光源，计算机可控输出光强
先进的光束对准系统，数据测量更准确
可以测量纳米级薄膜的厚度以及光学常数，可以变温测量。
主要附件及配置
mapping与旋转，自动对准、相机和聚焦点，液相和温度研究，环境研究
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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