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3D激光共聚焦显微镜
仪器编号
2021002844
规格
生产厂家
KEYENCE
型号
VK-X1000
制造国家
日本
分类号
010802
放置地点
卫津路校区第十一教学楼AIE研究院-AIE实验室11楼 S105
出厂日期
2020-11-23
购置日期
2020-11-23
入网日期
2020-11-23
主要规格及技术指标
1、光源：658nm以下激光测头。信号检测：16bit光电倍增管。2、X/Y方向分辨率不低于10nm，重复精度（3δ）最高到50nm。3、Z向分辨率不低于5nm，测量重复精度（δ）优于20nm。
主要功能及特色
（1）对微纳材料与器件进行快速精确的形貌表征，实现2D，3D图像观察，并能通过图像测量样品的长度、宽度、高度、角度、面积、体积、粗糙度等；（2）对微纳样品做面粗糙度，线粗糙度测量；（3）测量3D Profile形貌。
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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