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仪器详情
场发射扫描电子显微镜
仪器编号
2021012726
规格
Apreo
生产厂家
ThermoFisher Scientific FEI
型号
Apreo S LoVac
制造国家
捷克
分类号
放置地点
卫津路校区综合实验楼104室 104
出厂日期
2018-01-01
购置日期
2018-06-05
入网日期
2020-11-05
主要规格及技术指标
高/低真空分辨力：0.8nm/1.2nm@15kV；束流1pA~300nA，稳定性<0.4%；配备EDS、五自由度样品台，移动范围110mm*110mm*60mm，精度3um，样品直径120
主要功能及特色
可同时探测四个信号，T1分割式透镜内低位探测器、T2透镜内高位探测器、T3镜筒内探测器；低真空和样品台电子减速功能；共心测角台，5轴电动110X110mm；Nav-Cam样品导航摄像头
主要附件及配置
电子束曝光(EBL)、能谱仪(EDS)
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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