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仪器详情
聚焦离子/电子双束系统
仪器编号
2021012956
规格
Helios G4 UC Elstar
生产厂家
Thermo Scientific FEI
型号
Helios G4 UC
制造国家
美国
分类号
放置地点
卫津路校区综合实验楼综合实验楼104 104
出厂日期
2018-01-01
购置日期
2018-06-05
入网日期
2020-11-02
主要规格及技术指标
离子束分辨力<3nm，电子束分辨力<2nm；配备五支以上独立气体注入，预换样室，能谱仪，红外CCD；五自由度样品台，移动范围150mm*150mm*10mm，定位精度0.5um，最大样品尺
主要功能及特色
高精度5轴样品台(X, Y, Z, Rotation, Tilt)，Multichem气体沉积和微纳加工，Slice&View功能，Tomahawk离子筒实现快速、简便的高质量、定位TEM和原子探针样品制备，多达6个集成化镜筒及探测器，＜10nm复杂结构的快速、准确、精确刻蚀和沉积，高精度、高稳定度的150mm压电陶瓷样品台和Nav-Cam相机实现精确样品导航
主要附件及配置
电子束和离子束双束系统、能谱仪、低真空样品传送装置
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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