循环线速度范围:1um/min-150um/min;行程控制精度:误差<±0.35%(行程>大行程30%时)。扫描器范围:提供两个不同范围的扫描器,大范围扫描器:XY方向扫描范围大于120um,Z方向
无
配有加热模块、液下测试模块。