1.Al单色化阳极靶,且可移动,在阳极靶更换前应可提供不少于20个工作点使用。2.能量分辨率和灵敏度:对Ag3d5/2峰,半高宽优于0.45 eV。3.快速平行成像,成像空间分辨率优于3μm。
Axis Supra X射线光电子能谱仪具有XPS全谱和窄谱分析,不仅可以实现元素的定性以及半定量分析、固体表面分析、化合物的结构分析,还可以进行XPS成像分析。可实现准确测试表面不平整绝缘样品,还可以测试离子散射谱以及紫外光电子能谱。
紫外光电子能谱(UPS)