能量扫描范围:0~3200ev平均半径大于等于150mm
标配XPS全谱/窄谱、角分辨XPS(ARXPS)、XPS成像、离子散射谱 (ISS)、反射电子能量损失谱 (REELS)、深度剖析及荷电中和系统
紫外光电子能谱 (UPS)、原位EDS/XRF、离子簇套件刻蚀枪 (MAGCIS)等拓展功能;准原位化学反应仓,残余气体分析器(RGA)