仪器列表
1.X射线源类型:微聚焦单色化X射线源
2.分析尺寸可在20μm--700μm之间连续可调,调节步长≤10μm;
3.最大功率≥100W,实现最大灵敏度时指标所需的光源功率≤300W
4.大束斑能量分辨率和灵敏度:对Ag3d5/2峰能量分辨≤1.0eV时,光源功率≤300W条件下,计数率强度≥4Mcps;对Ag3d5/2峰能量分辨≤0.5eV时,计数率强度≥600kcps;能量分辨率≤0.45eV
标配XPS全谱/窄谱、角分辨XPS(ARXPS)、XPS成像、离子散射谱 (ISS)、反射电子能量损失谱 (REELS)、深度剖析及荷电中和系统
紫外光电子能谱 (UPS)、原位EDS/XRF、离子簇套件刻蚀枪 (MAGCIS)等拓展功能,残余气体分析器(RGA)。原位光照附件、准原位高温高压反应池,原位加热冷却功能
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