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仪器详情
材料沉积仪
仪器编号
2017009279
规格
生产厂家
FUJI
型号
FUJI Dimatix 2831
制造国家
日本
分类号
放置地点
卫津路校区第三教学楼（停用）天津市分子光电科学重点实验室第三教学楼107 106
出厂日期
2019-06-20
购置日期
2019-06-20
入网日期
2019-06-20
主要规格及技术指标
XYZ三轴平台移动范围不小于: X轴：350 mm；Y轴：300 mm；Z轴：50 mm；三轴平台移动精度为1um；三轴平台重复定位精度优于5um，移动速度不小于50mm/s
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
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