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材料沉积仪
材料沉积仪
仪器编号
2017009279
规格
生产厂家
FUJI
型号
FUJI Dimatix 2831
制造国家
日本
分类号
放置地点
卫津路校区第三教学楼(停用)天津市分子光电科学重点实验室第三教学楼107 106
出厂日期
2019-06-20
购置日期
2019-06-20
入网日期
2019-06-20

主要规格及技术指标

XYZ三轴平台移动范围不小于: X轴:350 mm;Y轴:300 mm;Z轴:50 mm;三轴平台移动精度为1um;三轴平台重复定位精度优于5um,移动速度不小于50mm/s

主要功能及特色

主要附件及配置

公告名称 公告内容 发布日期