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电子束蒸发与电阻蒸发复合镀膜系统
电子束蒸发与电阻蒸发复合镀膜系统
仪器编号
2016019099
规格
生产厂家
沈阳科仪
型号
DZS-500
制造国家
中国
分类号
放置地点
卫津路校区第二十教学楼西配楼纳米中心
出厂日期
2019-05-15
购置日期
2019-05-15
入网日期
2019-05-15

主要规格及技术指标

极限真空度≤9*10-5Pa,系统真空检漏率≤5*10-7Pa/s

主要功能及特色

主要附件及配置

公告名称 公告内容 发布日期