仪器列表
电子束曝光设备
电子束曝光设备
仪器编号
2016019084
规格
生产厂家
Raith
型号
ELPHY
制造国家
德国
分类号
放置地点
卫津路校区第二十教学楼西配楼纳米中心
出厂日期
2019-05-15
购置日期
2019-05-15
入网日期
2019-05-15

主要规格及技术指标

基于PCI的图形发生器,扫描频率6MHz,配备用于X和Y方向束偏转的两块高速收集和控制系统

主要功能及特色

主要附件及配置

公告名称 公告内容 发布日期