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仪器详情
电子束曝光设备
仪器编号
2016019084
规格
生产厂家
Raith
型号
ELPHY
制造国家
德国
分类号
放置地点
卫津路校区第二十教学楼西配楼纳米中心
出厂日期
2019-05-15
购置日期
2019-05-15
入网日期
2019-05-15
主要规格及技术指标
基于PCI的图形发生器，扫描频率6MHz，配备用于X和Y方向束偏转的两块高速收集和控制系统
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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