1.电子枪:场发射电子枪2.二次电子分辨率:15kv时0.8nm 1kv时 1.1nm3.加速电压:0.1-30kv
对金属材料 、纳米材料、催化剂、食品、生物等各个方面样品的形貌进行超高分辨观察,并对样品微观区域进行成分/结构取向进行定性定量分析。
能谱、水冷机、喷金仪